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就ECR制备金刚石技术与武汉工程大学马志斌课题组进行技术讨论

发布时间：2022-11-14

11月14日晚，课题组与武汉工程大学材料学院马志斌课题组就ECR刻蚀与生长金刚石进行相关讨论，就装置基片台加热，射频馈入等相关问题交换意见。