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王迪 讲师    

教育背景

工学博士

山东大学微电子学与固体电子学专业济南,中国 2022年6

理学学士

山东大学,应用物理专业济南,中国 2015年6月


工作经历

讲师

天津理工大学,集成电路科学与工程学院,2022年7月至今


研究方向

宽禁带半导体外延工艺研究、卤化物气相外延设备研发、紫外光电探测器


发表文章 

[1] D. Wang, L. He, X. Ma, H. Xiao, Y. Le, J. Ma, Preparation and properties of heteroepitaxial β-Ga2O3 films on KTaO3 (100) substrates by MOCVD, Mater. Charact., 165 (2020)110391.

[2] D. Wang, L. He, Y. Le, X. Feng, C. Luan, H. Xiao, J. Ma, Characterization of single crystalβ-Ga2O3 films grown on SrTiO3 (100) substrates by MOCVD, Ceram. Int., 46 (2020) 4568-4572.

[3] D. Wang, X. Ma, H. Xiao, R. Chen, Y. Le, C. Luan, B. Zhang, J. Ma, Effect of epitaxial growth rate on morphological, structural and optical properties of β-Ga2O3 films prepared by MOCVD, Mater. Res. Bull., 149 (2022)111718.

[4] D. Wang, X. Ma, H. Xiao, Y. Le, J. Ma, Ta-doped epitaxial β-Ga2O3 films deposited on SrTiO3(100) substrates by MOCVD, Materials Science in Semiconductor Processing, 128 (2021)105749.

[5] D. Wang, X. Ma, R. Chen, Y. Le, B. Zhang, H. Xiao, C. Luan, J. Ma, Solar-blind ultraviolet photodetectors based on Ta-doped β-Ga2O3 heteroepitaxial films, Opt. Mater., 129 (2022)112491.

[6] D. Wang, H. Xiao, Y. Le, C. Luan, J. Ma, Effect of Ta doping on the properties of β-Ga2O3 heteroepitaxial films prepared on KTaO3(100) substrates, J. Mater. Sci.-Mater. Electron., 32 (2021) 2757-2764.

[7] W. Mi, X. Li, Y. Ding, D. Wang, M. Xu, L. Xiao, X. Zhang, X. Chen, B. Li, L. Luo, J. Zhao, L. Zhou, J. Yu, Effects of seed layer thickness and post-annealing process on crystalline quality of β-Ga2O3 films prepared on Si (100) substrate by RF magnetron sputtering, Vacuum, 214 (2023)112235.

[8] W. Mi, B. Li, R. Chen, C. Luan, D. Wang, L.a. He, L. Zhou, J. Zhao, Effect of trimethylgallium flow rate on structural and photoelectronic properties of β-Ga2O3 films prepared by MOVPE, J. Mater. Sci.-Mater. Electron., 35 (2024)209.

[9] W. Mi, J. Tang, X. Chen, X. Li, B. Li, L. Luo, L. Zhou, R. Chen, D. Wang, J. Zhao, Preparation and UV detection performance of Ti-doped Ga2O3/intrinsic-Ga2O3/p-Si PIN photodiodes, J. Mater. Sci.-Mater. Electron., 34 (2023)774.


参与项目 

1. “基于氧化镓/铟镓砷异质结的紫外/近红外双波段光电探测器的制备与性能研究”,天津市自然科学基金青年项目,2022年10月-20249月,主持,6万;

2. “基于新一代宽禁带半导体的电力电子系统的研发”,横向项目,20246-20266月,主持,100万;

3. “自供电型日盲紫外光电探测器系列产品的研发”,横向项目,20247-20267月主持,32万;

4. “2英寸氧化镓外延片制备”,横向项目,202210月-2025年10月,主持,3.4万;

5. “氧化镓/砷化镓异质结型紫外/红外双波段光电探测器的研制”,北京大学深圳研究生院广东省纳米微米材料研究重点实验室开放课题,主持,3万;

6. “钛酸锌和锡酸锌单晶薄膜的异质外延生长及性质研究”,国家自然科学基金面上项目,2019年1月-2022年12月,参与,60万;

7.“可用于下一代光电器件的Beta-氧化镓单晶薄膜的制备及性质研究”,山东省重点研发计划,2018年9月-2020年12月,参与,20万。



专利

1. 朱岩;何林安;弭伟;王迪,“一种紫外光和可见光双波段光电探测器及其制备方法”,2024.8.27,中国,ZL202410850899.X