硕士生付雨薇的小论文“用于高压测量的MEMS硅-玻光纤FP压力传感器”被“中国光学”期刊录用！

论文研究了一种基于微机电系统(MEMS)技术的用于高压测量的硅-玻光纤法布里-珀罗(FP)压力传感器，以硅材料作为敏感元件，将电感耦合等离子体(ICP)干法刻蚀后的单晶硅膜片和高硼硅玻璃阳极键合构成FP腔。传感头使用MEMS技术批量制造，结构稳定、抗过载能力强、在高压环境下不容易失效。实验结果表明，该传感器能够实现30 MPa的高压压力测量，灵敏度为46.94 nm/MPa，线性拟合度为0.99897，测量结果具有较好的一致性和可靠性，所设计的压力传感器在高压检测方面有很强的应用前景。

光纤FP压力传感器结构示意图

传感器实物图