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个人简介

1994年7月至今,在大连理工大学物理学院工作,为大连理工大学三束材料改性教育部重点实验室固定研究人员。 1994年和2000年作为主要参与者,先后完成了两代电子回旋共振-等离子体增强金属有机物化学气相沉积(ECR-PEMOCVD)设备的设计和建造工作。 2005年1月至2007年12月作为项目负责人完成了两项国家自然基金项目和一项辽宁省教育厅项目。1996年今,作为主要参加者还参与了氮化镓(GaN)基半导体材料PEMOCVD低温生长方面的五项国家自然科学基金项目、一项国家八六三项目(No.715-011-0033)和一项国家重大基础研究(973)专项项目等, 在ECR-PEMOCVD设备的设计制造、GaN薄膜的低温生长及光电特性研究方面具有丰富的实践经验。 2004年至今已指导硕士研究生26人,协助指导博士生7人,协助指导硕士研究生11人。学生在读期间将学习和掌握半导体物理、半导体器件物理及微电子工艺的相关理论知识,并能熟练操作ECR-PEMOCVD、射频磁控溅射等用于薄膜生长的大型设备,深入学习和掌握GaN等半导体薄膜的制造工艺与机理。毕业生就业去向多是与集成电路、微电子器件、半导体光电、液晶、OLED制造相关的高新企业及研究机构等。 教育经历 1998.3 -- 2004.4 大连理工大学 材料学 博士 1991.9 -- 1994.7 吉林大学 半导体物理与半导体器件物理 硕士 1987.9 -- 1991.7 辽宁大学 光学 学士 工作经历 2004.1 -- 至今 物理与光电工程学院 副教授 1994.7 -- 2003.12 电气工程与应用电子技术系 副教授

研究领域

氮化镓(GaN)薄膜在金属衬底上的等离子体增强低温生长研究

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