姚锦元 - 上海交通大学 - 微纳电子学系

个人简介

1969年生，毕业于上海交通大学。一直在上海交通大学微纳科学技术研究院三维非硅加工课题组，从事微型机电系统相关技术、细加工技术、纳米材料和电化学微加工等研究开发工作，作为项目负责人之一，先后参与完成了“基于MEMS 技术的改性NF膜及微型海水淡化装置”、“基于MEMS技术的光纤氢传感器研究”、“纳米介电薄膜的高性能RF开关研究”、“汽车用镀锌钢板的纳米改性技术研究”、“电磁微驱动新型 MEMS 光开关研制的研制”、“ Nd－Fe－B 的化学镀 NiP 保护”等一系列科研攻关课题，作为主要研究人员之一 , 参加完成的国家和省部级科研任务有：国家计委“九五”攻关课题“形状记忆合金微泵研制”和“实用电磁型微马达关键技术研究”；“863”计划项目“直径2毫米电磁型微马达研制”；国防科工委“十五”预研课题“基于准 LIGA 技术的 RF MEMS 开关研究”等等，取得了一系列有重要实用价值的研究成果，为各项重要科研任务的完成作出了突出贡献，其中“形状记忆合金微泵研制”项目通过教育部组织的专家鉴定，达到国际先进水平。同时积累了丰富的微细加工技术研究经验，发表学术论文三十多篇，申请专利二十几项，2007年“非硅MEMS技术及其应用”获上海市技术发明一等奖，2014-2015国家留学基金会公派美国访学，2016年“基于多元兼容集成制造技术的MEMS传感与驱动器件”获上海市技术发明一等奖。

研究领域

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1、非硅MEMS+IC系统设计、集成与工艺实现 2、面向生物医药领域的微纳集成制造（NEMS）传感器研究