赵勃 - 哈尔滨工业大学 - 仪器科学与工程学院

个人简介

工作经历 2020.12-至今教授哈尔滨工业大学仪器科学与工程学院超精密光电仪器工程研究所 2015.12 - 2020.11 副教授哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所 2015.12-2016.11 访问学者英国诺丁汉大学 2012.07-2015.12 讲师哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所教育经历 2007.03-2011.11 机械电子工程哈尔滨工业大学机器人研究所博士 2004.09-2006.07 机械电子工程哈尔滨工业大学机器人研究所硕士 2000.09-2004.07 机械设计制造及自动化哈尔滨工业大学本科

研究领域

1. 光刻机系统隔微振技术（1）面向350&700nm光刻机系统的一体式隔微振技术（2）面向90nm-28nmDUV光刻机系统的分体式隔微振技术（3）面向EUV光刻机的磁悬浮隔微振技术具体内容包括隔微振系统动力学模型建立及仿真，隔振装置机械结构设计、加工及系统搭建，各类传感器信号采集电路、电机驱动电路、控制电路等的设计及调试，隔微振控制方法仿真与实验验证等。 2. 压电驱动与控制技术面向光刻机系统等对高精度执行器及驱动单元的需求，围绕尺蠖电机、超声电机、压电堆叠三种执行器的结构设计、驱动与控制技术等开展相关研究。具体内容包括执行器结构设计与仿真、高频高压驱动电路设计与调试、测试平台搭建与实验验证等。 3. 超声显微技术面向航空航天装备核心零部件的无损检测需求，开展超声显微关键技术研究。具体内容包括超声探头设计与制备、声学信号驱动与采集电路设计与调试、微缺陷与应力场表征与成像、超声显微系统集成与实验验证等。

近期论文

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An adjustable anti-resonance frequency controller for a dual-stage actuation semi-active vibration isolation system Bo Zhao, Weijia Shi*, Bingquan Wang and Jiubin Tan 2020 期刊名称 Frontiers of Information Technology & Electronic Engineering Pseudo-full-bridge inverter with soft-switching capability for quarter-phase ultrasonic motor Weijia Shi, Bo Zhao* 期刊名称 IEEE TRANSACTIONS ON INDUSTRIAL ELECTRONICS 2019 Compensation network for temperature dependency and bandwidth expanding of magnetoelectric velocity sensor based on phase prediction compensator Bo Zhao, Weijia Shi*, Ding Sun and Jiubin Tan 2020 期刊名称 IEEE Sensors Journal Desired Compensation Adaptive Robust Control of an Active Vibration Isolation System Bo Zhao, Weijia Shi 2018 期刊名称 COMPLEXITY Six Degrees of Freedom Displacement Measurement System for Wafer Stage Composed of Hall Sensors Bo Zhao, Weijia Shi* 2018 期刊名称 Sensors