鲁森 - 清华大学 - 机械工程系

个人简介

教育背景 2013.09-2019.07 清华大学机械工程系工学博士 2010.09-2013.07东南大学机械工程学院工学硕士 2006.09-2010.07东南大学机械工程学院工学学士工作履历 2020.07-至今清华大学机械工程系助理研究员 2019.07-2021.07 清华大学机械工程系博士后奖励与荣誉 2018年6月《光学学报》优秀论文奖

研究领域

面向国家高性能集成电路装备自主研发需求，开展大口径高精度平面光栅制造技术和3D IC高精度堆叠技术等相关研究工作。主要内容包括： 1. 扫描干涉光刻机超精密测控技术研究 2. 超精密工作台运动控制方法研究 3. 晶圆直接键合机理研究

近期论文

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