陈达 - 山东科技大学 - 电子信息工程学院

个人简介

陈达，男，汉族，1980年5月生，山东济南人，中共党员，博士，教授，博士生导师。山东科技大学电子信息工程学院院长，山东省泰山学者青年专家，博士生导师，电子科学与技术学科带头人，通信工程国家一流本科专业建设点负责人、山东省青创科技团队负责人。学习及工作经历 2009.07-至今山东科技大学理学院、电子学院、电信学院，讲师、副教授、教授 2014.11-2016.01 加拿大西安大略大学工程学院访问学者 1999.09-2016.07 曲阜师范大学大学物理工程学院电子信息工程工学学士、物理电子学工学硕士成果自2006年在国内较早开展集成化射频薄膜体声波谐振器（FBAR）的研究。建立了系统的器件设计模型与工艺流程，提出了横向激励剪切波模式的器件结构，参与设计了多款FBAR射频滤波器芯片产品，出版两部专著。发展了FBAR气体传感及生物传感芯片，对血清中极低浓度的疾病标志分子具有高度灵敏性，有望应用于环境污染监测、癌症等重大疾病的早期筛查。面向人机共融机器人、软机器人、智能假肢等应用领域的小型化感知器件需求，发展了多种柔性微纳结构触觉、压力、拉伸传感器，结合机器学习信息处理方法，实现了动作运动监测、抓握物体识别、机械手控制等功能，在智能机器人领域具有重要的应用前景。自主研发了具有极佳柔韧性的微纳结构“金属蛛网”电子纹身人机接口，发展了面向不同精度成本应用的压花/切割/雕刻/半导体微加工+水转印的整套数字化制造技术。研发了集成无线心电/肌电柔性监测系统，可应用于人24小时心电、脉搏等生理状态及脑电、肌电监测，能够成为未来运动、医疗“体”联网的实时健康信息终端。主持及参与项目国家自然科学基金面上项目面向呼气电子鼻的高灵敏纳米改性薄膜体声波传感器阵列研究（61574086）国家自然科学基金青年科学基金项目基于生物免疫机制的薄膜谐振结构痕量有机磷农药传感器研究（61101027）山东省高等学校“青创科技支持计划” 微纳器件与柔性敏感电子创新团队（2019KJN020）山东省优秀中青年科学家科研奖励基金免标记高灵敏FBAR癌症标志物免疫传感阵列研究（BS2012DX032）青岛市科技计划项目基于压电微纳体声波谐振结构的集成化呼气分析气体传感器件研究（15-9-1-78-jch）青岛市科技计划项目面向痕量癌症标志物检测的GHz薄膜谐振结构生物传感器研究（12-1-4-6-(8)-jch）青岛西海岸新区2020年度科技项目微量血液生化分析的微流体集成MEMS电声传感器（2020-94）山东省研究生教育优质课程半导体物理学（SDYKC20057）获奖情况 2011年山东省高等学校科研成果二等奖，“可硅基集成的高灵敏薄膜谐振生化传感器”，第一位 2013年山东省高等学校优秀科研成果二等奖“石墨烯对太赫兹辐射受激放大的研究”第三位 2014年山东省高等学校优秀科研成果三等奖“面向近海水污染物净化与检测的微纳材料与器件研究”第三位 2017年山东省高等学校优秀科研成果二等奖 “基于MEMS体声波谐振器的超微量特异性生化传感研究” 第一位 2017年山东省研究生教育省级教学成果奖二等奖 “课程-项目-基地-文化”四位一体的信息学科创新型研究生培养模式研究与实践第四位 2020年全国煤炭行业教学成果奖特等奖面向“双创”能力培养的电子信息类新工科专业多方共建协同育人机制第六位山东省优秀硕士论文（指导教师）剪切模式薄膜体声波谐振器液相敏感特性研究主讲课程《集成电路器件与工艺》、《半导体物理与器件》、《薄膜物理与技术》

研究领域

微电子机械（MEMS）系统、射频体声波器件（FBAR）、微纳智能传感器、柔性电子器件。以新一代信息技术需求为导向，以微电子、物理学、机器人、机器学习、生物技术的深度交叉为背景，以“基础材料-核心器件-信息识别”为主线，发展面向健康监测、疾病诊断、机器人应用等的智能化、微型化传感芯片及系统。

近期论文

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1. Jie Peng, Haoran Niu, Jinlin Liu, Ya-Nan Yang, Junze Zhu, Da Chen∗, Yijian Liu, Finite element modeling and simulation of ultrasensitive film bulk acoustic resonator enabled by micropillar structure, Modern Physics Letters B,2140007, 2021 2. Haicheng Wang, Jinlin Liu, Haoao Cui, Yijian Liu,* Junze Zhu, Hongfei Wang, Ge Song, Zhongli Li, Da Chen*, Strain Sensor with High Sensitivity and Large Response Range Based on Self-Assembled Elastic-Sliding Conductive Networks, ACS Applied electronic materials, 2021, 3, 1758-1770 3.J. Peng, G. Song, H. Niu, P. Wang, X. Zhang, S. Zhang, D. Chen*, Detection of cardiac biomarkers in serum using a micro-electromechanical film electroacoustic resonator, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2020, 30, 075011. 4.W. Wang, D. Chen*, J. Liu, J. zhu, P. Zhang, L. Yang, H. Chen, Y. Wang, Strain sensor for full-scale motion monitoring based on self-assembled PDMS/MWCNTs layers, Journal of Physics D: Applied Physics, 2019, 53, 095405. 5.J. Liu, D. Chen,∗, P. Wang, G. Song, X. Zhang, Z. Lia, Y. Wang, J. Wang, Jun Yang, A microfabricated thickness shear mode electroacoustic resonator for the label-free detection of cardiac troponin in serum, Talanta 2020, 215, 120890 6. S. Song, D. Chen*, H. Wang, Q. Guo, W. Wang, M. Wu, W. Yu, Film bulk acoustic formaldehyde sensor with polyethyleneimine-modified single-wall carbon nanotubes as sensitive layer, Sensors and Actuators, B: Chemical, 2018, 266 204-212. 7. W. Wang, D. Chen*, H. Wang, W. Yu, M. Wu, L. Yang, Film bulk acoustic formaldehyde sensor with layer-by-layer assembled carbon nanotubes/polyethyleneimine multilayers, Journal of Physics D: Applied Physics, 2018, 51 (5): 055104. 8. S. Song, D. Chen*, H. Wang, C. Li, W. Wang, W. Yu, Y. Wang, Q. Guo, Shear mode bulk acoustic resonator based on inclined c-Axis AlN film for monitoring of human hemostatic parameters, Micromachines, 2018, 9 (10): 501. 9. S. Song, D. Chen*, H. Wang, Q. Guo, W. Yu, Shear Mode Bulk Acoustic Viscosity Sensor for Blood Coagulation Monitoring in Oral Anticoagulant Therapy, Journal of Nanoscience and Nanotechnology, 2018, 18 8099-8104. 10. J. Ma, S. Wang, D. Chen*, W. Wang, Z. Zhang, S. Song, W. Yu, ZnO piezoelectric film resonator modified with multi-walled carbon nanotubes/polyethyleneimine bilayer for the detection of trace formaldehyde, Applied Physics A: Materials Science and Processing, 2018, 124 (1): 56. 11. D. Chen*, L. Yang, W. Yu, M. Wu, W. Wang, H. Wang, Micro-electromechanical acoustic resonator coated with polyethyleneimine nanofibers for the detection of formaldehyde vapor, Micromachines, 2018, 9 (2): 62. 12. D. Chen*, S. Song, J. Ma, Z. Zhang, P. Wang, W. Liu, Q. Guo, Micro-electromechanical film bulk acoustic sensor for plasma and whole blood coagulation monitoring, Biosensors and Bioelectronics, 2017, 91 465-471. 13. D. Chen*, Z. Zhang, J. Ma, W. Wang, ZnO film bulk acoustic resonator for the kinetics study of human blood coagulation, Sensors (Switzerland), 2017, 17 (5): 01015. 14. D. Chen*, J. Wang, P. Wang, Q. Guo, Z. Zhang, J. Ma, Real-time monitoring of human blood clotting using a lateral excited film bulk acoustic resonator, Journal of Micromechanics and Microengineering, 2017, 27 (4): 045013. 15. D. Chen*, S. Song, D. Zhang, P. Wang, W. Liu, Sensing characteristics of pure-shear film bulk acoustic resonator in viscous liquids, Modern Physics Letters B, 2017, 31 (8): 1750086.

学术兼职

山东科技大学学术委员会委员，青岛市集成电路人才培养联盟副理事长、山东省集成电路人才培养联盟课程体系委员会委员。