个人简介
招生专业
080300-光学工程
招生方向
微电子装备及关键技术研究
教育背景
2003-09--2006-03 浙江大学 硕士
1999-09--2003-06 浙江大学 学士学位
工作简历
2006-04~2015-08,中国科学院光电技术研究所, 副研究员
专利成果
（ 1 ） 一种投影光刻物镜中的镜片偏心微调机构, 发明, 2011, 第 1 作者, 专利号: 200910237660.0
（ 2 ） 一种红外成像光学读出系统的照明装置, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: 201010608942.X
（ 4 ） 一种用于光刻设备中的光束稳定装置, 发明, 2010, 第 1 作者, 专利号: 201010582736.6
科研项目
（ 1 ） 极紫外光刻原理实验装置机械与真空系统研制, 参与, 国家级, 2009-01--2016-06
（ 2 ） 高均匀复杂照明系统研制, 参与, 国家级, 2009-07--2016-12
（ 3 ） 新型微纳器件三维形貌检测设备研制, 主持, 部委级, 2016-01--2018-12
研究领域
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微细加工装备及关键技术研究
在信息化时代，微细加工装备是最核心的制造装备之一，是各种集成电路、芯片及各种微纳结构的基础制造设备。高端微细加工装备被称为人类最精密、最复杂的制造设备，设计、制造难度极大。本研究领域是光电所特色研究领域之一，专注于本领域的关键单元技术、光刻新方法以及光刻系统的设计、集成、调试与检测技术研究和探索，涉及光学、机械、电控及软件多个学科方向，对基础理论及工程实践能力有极高的要求。
京公网安备 11010802027423号