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马平 硕导 收藏 完善纠错
中国科学院大学    电子电气与通信工程学院
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个人简介

招生专业 081002-信号与信息处理 招生方向 硬件电路

研究领域

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微细加工装备是信息化时代的关键设备，技术要求高，研制难度大，其电控系统尤为复杂。本研究领域包括微细加工装备照明、工件台、对准、检焦等关键单元技术以及微细加工装备整机电控所涉及高速、高精度电控系统关键技术研究。

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