于连忠 - 中国科学院大学 - 地球与行星科学学院

个人简介

招生专业 080903-微电子学与固体电子学招生方向微电机系统设计与制造教育背景 1991-09--1993-06 纽约州立大学布法罗分校电子工程系光电子学硕士 1988-09--1991-06 复旦大学电子工程系微电子学及微电机系统博士 1985-09--1988-06 复旦大学电子工程系微电子学硕士 1981-09--1985-06 复旦大学电子工程系半导体物理与器件学士工作简历 2011-03~现在, 中科院地质与地球物理研究所, 研究员 2000-04~2011-03,Honeywell International Inc., Principle Engineer 1997-07~2000-04,Input/Output Inc., Senior Design Engineer 1996-01~1997-07,Texas Instruments, Design Engineer 1993-06~1995-12,GP:50 New York Limited, Research Engineer 1991-09~1993-06,纽约州立大学布法罗分校电子工程系, 光电子学硕士 1988-09~1991-06,复旦大学电子工程系, 微电子学及微电机系统博士 1985-09~1988-06,复旦大学电子工程系, 微电子学硕士 1981-09~1985-06,复旦大学电子工程系, 半导体物理与器件学士专利成果（ 1 ） MEMS vertical comb drive with improved vibration performance, 2008, 第 2 作者, 专利号: US 7469588 （ 2 ）哑铃型梁膜结构, 1988, 第 2 作者, 专利号: CN88211370.4 （ 3 ）双岛梁膜结构, 1988, 第 2 作者, 专利号: CN88211371.2 （ 4 ）梁膜硅压力传感器, 1989, 第 2 作者, 专利号: CN88211369.0 （ 5 ）具有过载保护的岛膜结构, 1989, 第 2 作者, 专利号: CN88201030.1 （ 6 ） Micro machined mirror, 2001, 第 2 作者, 专利号: US 6315423 （ 7 ） Comb structure fabrication methods and systems, 2009, 第 1 作者, 专利号: US 7479402 （ 8 ） Merged-mask micro-machining process, 2003, 第 1 作者, 专利号: US 6617098 （ 9 ） Vibrating beam accelerometer, 2006, 第 1 作者, 专利号: US 70724934 （ 10 ） Vibrating beam accelerometer two-wafer fabrication process, 2005, 第 1 作者, 专利号: US 6938334 （ 11 ） Dual axis micro machined mirror device, 2002, 第 2 作者, 专利号: US 6454421 （ 12 ） Accelerometer with folded beams, 2004, 第 3 作者, 专利号: US 6805008 （ 13 ） Integrated and multi-axis sensor assembly and packaging, 2006, 第 5 作者, 专利号: US 7152473 （ 14 ） High performance MEMS packaging architecture, 2007, 第 2 作者, 专利号: US 7238999 （ 15 ） System and method for uniform multi-plane silicon oxide layer formation for optical applications, 2008, 第 1 作者, 专利号: US 7442589 （ 16 ） Temporary bridge for micro machined structures, 2002, 第 1 作者, 专利号: US 6458513 （ 17 ） Method of making dimple structure for prevention of MEMS device stiction, 2009, 第 1 作者, 专利号: US 7482192 （ 18 ）一种高灵敏度三轴MEMS加速度计及其制造工艺, 2016, 第 2 作者, 专利号: ZL201310182168.4 （ 19 ）一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪及其制造工艺, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL201310221840.6 （ 20 ）一种MEMS陀螺仪及其制造工艺, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201310221525.3 （ 21 ）一种MEMS反相振动陀螺仪及其制造工艺, 2016, 第 1 作者, 专利号: ZL201310221698.5 （ 22 ）一种MEMS检测装置及其制造工艺, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201310304674.6 （ 23 ）一种MEMS高灵敏度横向加速度计及其制造工艺, 2017, 第 2 作者, 专利号: ZL201310304676.5 （ 24 ） Silicon SOI wafer accelerometer fabrication process, 2011, 第 1 作者, 专利号: US 7976714 （ 25 ） Single Silicon-on-insulator(SOI) wafer acceleromter fabrication, 2011, 第 1 作者, 专利号: US 8057690 （ 26 ） Method of creating a micro electro-mechanical systems accelerometer using a single double silicon-on-insulator wafer, 2013, 第 1 作者, 专利号: US 8481354 （ 27 ） Accelerometer and its fabrication technique, 2015, 第 2 作者, 专利号: US 9170271 （ 28 ） Accelerometer and its fabrication technique, 2016, 第 2 作者, 专利号: US 9476903 （ 29 ） MEMS Anti-Phase vibratory gyroscope, 2017, 第 1 作者, 专利号: US 9618342 （ 30 ） Symmetrical MEMS Accelerometer and its fabrication process, 2017, 第 1 作者, 专利号: US 9759740 科研项目（ 1 ） MEMS加速度传感器规模化制造技术与苏子检波器集成-新型MEMS加速度传感器芯片设计与制备技术, 参与, 国家级, 2011-01--2016-01

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（1） Sensors and actuators, Vol.A28, No.2, 105-112, 1991, 第 1 作者（2） Sensors and Actuators,Vol.A21-A23, 137-141, 1990, 第 2 作者（3） Sensors and Actuators, Vol.19, No.1, 23-31, 1989, 第 2 作者（4） Sensors and Actuators, Vol.A18, No.3/4, 219-229, 1989, 第 3 作者