赵阳 - 中国科学院大学

个人简介

招生方向计算机辅助装调，光学系统设计，光学系统像质检测教育背景 2007-09--2010-07 中国科学院长春光学精密机械与物理研博士 2005-09--2007-07 哈尔滨工业大学硕士工作简历 2012-09~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研, 副研究员 2010-07~2012-09,中国科学院长春光学精密机械与物理研, 助理研究员 2007-09~2010-07,中国科学院长春光学精密机械与物理研, 博士 2005-09~2007-07,哈尔滨工业大学, 硕士专利成果（ 1 ）利用轴向色差进行快速辅助定心的光学装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201410613532.2 （ 2 ）一种两自由度调节的镜组吊装调平装置, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN201510725265 （ 3 ）物距可调的有限远共轭距光学变焦系统, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN201610929892 科研项目（ 1 ） XX投影物镜结构与装调, 参与, 国家级, 2009-01--2015-12 （ 2 ）极大规模集成电路制造装备与成套工艺专项, 参与, 国家级, 2017-01--2020-12

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（1）利用面形精修技术去除投影物镜中的三叶像差, 光学学报, 2015, 第 1 作者（2）利用失调量向量选择投影物镜小比例模型系统补偿量, 光学学报, 2014, 第 1 作者（3）投影物镜小比率模型系统补偿量的选择方法, 光学精密工程, 2013, 第 1 作者（4） New design of beam expanding unit for excimer laser, Optics and Laser in Engineering, 2012, 第 1 作者（5）提高深紫外光刻照明系统扩束单元光束均匀性的方法, 光学学报, 2012, 第 1 作者