张巍 - 中国科学院大学

个人简介

招生方向精密光机系统装调，检测衍射光学元件设计教育背景 2002-09--2007-06 中国科学技术大学获博士学位 1998-09--2002-06 中国科学技术大学获学士学位工作简历 2013-02--今中科院长春光机所应用光学国家重点实验室副主任 2011-06--2013-02 中科院长春光机所科研管理三处副处长 2007-07--2011-06 中科院长春光机所应用光学国家重点实验室助理研究员、副研究员科研项目（1）大离轴量筒状超光滑非球面面形检测关键技术研究，主持，国家级，2012-01--2014-12 （2）高NA浸没光学系统关键技术研究，参与，国家级，2009-01--2013-12

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（1）投影光刻离轴照明用衍射光学元件的矢量分析，光学学报，2011，第1作者（2）投影光刻离轴照明用衍射光学元件设计，光学精密工程，2008，第1作者