个人简介
招生方向
仪器科学与技术
教育背景
2015-10--2016-10 英国伦敦大学学院 访问学者
2007-09--2012-06 中国科学院光电技术研究所 博士研究生
2001-09--2005-06 四川大学制造学院测控技术与仪器系 本科
工作简历
2012-08~现在, 中国科学院光电技术研究所, 副研究员
2005-09~2006-10,上海日月光半导体有限责任公司, 助理工程师
专利成果
( 1 ) 一种光学球面曲率半径的测量方法, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: ZL201110401073.8
( 2 ) 一种激光跟踪仪测量中环境补偿的方法, 发明, 2012, 第 1 作者, 专利号: ZL201010535206.6
( 3 ) 一种利用激光跟踪仪测量非球面顶点曲率半径的方法, 发明, 2013, 第 1 作者, 专利号: ZL201110337046.9
( 4 ) 一种摆臂式轮廓仪有效臂长的测量装置和方法, 发明, 2016, 第 5 作者, 专利号: ZL201410243303.6
( 5 ) 一种大尺寸平面度的在位测量方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: ZL201410249777.1
( 6 ) 摆臂式轮廓仪旋转轴空间状态标定方法, 发明, 2017, 第 4 作者, 专利号: ZL201510105353.2
科研项目
( 1 ) 面形测量传感技术及相关算法研究, 主持, 国家级, 2016-06--2020-05
( 2 ) 大型非球面光学件面形轮廓度在位检测仪 关键技术研究, 主持, 省级, 2017-01--2018-12
( 3 ) 硅片厚度一致性检测装置开发, 主持, 市地级, 2018-01--2018-12
( 4 ) 激光跟踪仪大尺寸面形高精度功能开发, 主持, 部委级, 2018-01--2018-09
近期论文
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(1) Development of swing part profilometer for optics, Optics and measurement international conference2016, 2016, 第 2 作者
(2) Calibrating the axes of the swing arm profilomter by the four-based laser trackers, International conference on optical instruments and technology: Optoelectronic measurement technology and systems, 2015, 第 5 作者
(3) Research on the measurement technology of effective arm length of swing arm profilometer, 7th international Symposium on advanced optical manufacturing and testing technologies:Large mirrors and telescopes, 2014, 第 4 作者
(4) Fast and accurate measurement of large optical surfaces before polishing using a laser tracker, Chinese optics letters, 2013, 第 1 作者
(5) Study on the algorithm in the measurement of large annular planes with a laser tracker, International symposium on Photoelectronic dectection & Imaging 2013, 2013, 第 4 作者
(6) 使用激光跟踪仪测量研磨阶段离轴非球面面形, 光学学报, 2012, 第 1 作者
(7) 接触式大型非球面镜面形测量中测量点分布的研究, 光学精密工程, 2012, 第 1 作者
(8) 离轴非球面镜精磨阶段的三坐标检测技术, 强激光与粒子束, 2012, 第 6 作者