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廖志杰 硕士生导师 收藏 完善纠错
中国科学院大学    光电学院
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个人简介

招生方向 应用光学 教育背景 2002-08--2009-06 中科院光电技术研究所 博士 1994-09--1998-07 长春理工大学 学士 工作简历 2009-06~现在, 中科院光电技术研究所, 副研究员

研究领域

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主要从事光刻投影曝光系统中的光学系统设计和仿真工作。涉及光学系统的优化设计和仿真技术，非成像照明设计和性能仿真技术，照明性能的检测技术及其应用。

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