王丽萍 - 中国科学院大学

个人简介

招生方向光学设计教育背景 2004-09--2009-06 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所硕博连读理学博士 2000-09--2004-06 长春理工大学工学学士工作简历 2009-07~现在, 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 博士学位 2004-09~2009-06,中国科学院长春光学精密机械与物理研究所, 硕博连读理学博士 2000-09~2004-06,长春理工大学, 工学学士专利成果（ 1 ）一种基于遗传算法的光刻衰减型掩模的优化方法, 2018, 第 1 作者, 专利号: 201510427190.X （ 2 ）极紫外光刻系统中与杂散光有关的镜面加工误差分析方法, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201410593209.3 （ 3 ）一种基于能量守恒定律的光学系统分析设计方法, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201310140570.6 （ 4 ）一种用于极紫外光刻的类临界照明系统, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201410797135.5 （ 5 ）一种基于光学系统失调量解算的光机结构稳定性评估方法, 2016, 第 2 作者, 专利号: 201410182055.9 （ 6 ）一种曝光系统中曝光剂量的监控方法、曝光方法及其曝光系统, 2017, 第 2 作者, 专利号: 201510962473.4 （ 7 ）一种折反射光学系统及折反射光学成像方法, 2017, 第 1 作者, 专利号: 201611047850.2 科研项目（ 1 ）极紫外光刻原理试验装置曝光光学系统研制, 主持, 国家级, 2009-01--2017-06 （ 2 ） EUVL物镜离轴非球面面形检测装置研发, 主持, 国家级, 2012-01--2019-12 （ 3 ）六镜极紫外光刻投影物镜研发与验证, 参与, 国家级, 2018-01--2020-12 （ 4 ）中国科学院青年创新促进会, 主持, 部委级, 2015-01--2018-12 参与会议（1）极紫外光刻技术及挑战极紫外光刻技术研讨会 2018-12-14

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（1） Adjustable flexure mount to compensate for deformation of an optic surface, Applied Optics, 2019, 第 3 作者（2） Method for designing error-resistant phase-shifting algorithm, Optics Communications, 2019, 第 6 作者（3）微缩投影系统的垂轴放大率测量, 光学精密工程, 2016, 第 2 作者（4）极紫外光刻物镜分组可视化界面设计优化, 光学学报, 2015, 第 2 作者（5） A model for multilayers analysis in a coated extreme ultraviolet lithography projection system, Optics Communications, 2014, 第 3 作者（6）极紫外光刻投影物镜中多层膜分析模型的建立及应用, 光学学报, 2014, 第 3 作者（7）极紫外光刻离轴照明技术研究, 光学学报, 2012, 第 3 作者（8）用于极紫外光刻非球面光学元件检测的补偿器检测系统, 中国激光, 2012, 第 1 作者