邢廷文 - 中国科学院大学

个人简介

先后参加了光纤传像望远镜/潜望镜系统、眼科手术显微镜、系列高档手术显微镜、亚微米投影光刻物镜、紫外成像物镜、红外成像物镜、观测设备等系统设计工作，主持完成了我国首台波长达100微米的远红外光栅光谱仪的研制工作。对普通非球面和特种非球面、衍射光学元件的应用做了深入的研究，通过自定义非球面面型设计完成了超大视场紧凑型单片fθ镜头，目前从事红外探测技术、先进光刻技术等多项国家高技术课题的研究工作，完成多项研究成果，其中获中科院科技进步一等奖1项，二等奖1项、三等奖1项，在国内外发表论文32篇，申请发明专利11项，合著专著1本。招生方向应用光学光学仪器微电子光学教育背景 1995-06--1996-09 大学日本进修 1985-09--1988-06 中国科学院光电技术研究所硕士 1981-09--1985-06 华中科技大学学士工作简历 1999-10~现在, 中国科学院光电技术研究所, 室主任 1996-10~1999-09,日本非球面公司, 工程师 1988-07~1995-05,中国科学院光电技术研究所, 副研究员专利成果（ 1 ）一种精密夹具, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201210103829.5 （ 2 ）一种光学系统气压分段补偿像差的划分方法, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410499948 （ 3 ）一种光学变形镜系统, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201510059382 （ 4 ）一种移动平台, 发明, 2014, 第 3 作者, 专利号: 201210133515.X （ 5 ）一种光束偏振度测量装置和方法 , 发明, 2014, 第 3 作者, 专利号: 201410503691.7 （ 6 ）一种利用小孔衍射波进行待测件定位的装置及方法, 发明, 2015, 第 3 作者, 专利号: 201510189200.0 （ 7 ）一种高分辨率投影光学系统, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201210132632.4 （ 8 ）一种非球面光刻耦合物镜 , 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201310178870.3 （ 9 ）一种投影物镜数值孔径测量装置及方法 , 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201310390028.6 （ 10 ）一种大数值孔径的折反射的干式投影光学系统, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410024170.3 （ 11 ）一种激光准直扩束系统, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410019186.5 （ 12 ）一种偏振纯化装置, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: 201410289361.2 （ 13 ）一种投影光学系统 , 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: 201210360715.9 发表著作（1）光学投影曝光微纳加工技术, 无, 北京工业大学出版社, 2006-12, 第 3 作者科研活动科研项目（ 1 ） 02专项, 主持, 国家级, 2009-07--2016-06

研究领域

主要从事各种光学系统、光学镜头、光学仪器的研究开发工作

近期论文

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（1）国外高变焦比中波红外镜头的研究进展, 红外与激光工程, 2015, 第 2 作者（2）国外红外光谱连续变焦成像系统的研究进展, 光谱学与光谱分析, 2014, 第 2 作者（3）铝镜消应力支撑及SPDT辅助装配设计, 光电工程, 2014, 第 2 作者（4）薄型折反系统布局及金属主镜安装影响分析, 红外与激光工程, 2014, 第 2 作者（5）微反射镜阵列在光束整形中的应用, 红外与激光工程, 2014, 第 2 作者（6）小型一体式次镜支架结构优化设计, 红外与激光工程, 2014, 第 2 作者（7）具有变视场性能的中红外光谱系统设计与研究, 光谱学与光谱分析, 2014, 第 2 作者（8）长焦距高分辨率红外两档变焦光学系统设计, 红外与激光工程, 2014, 第 2 作者（9） Two-dimension lateral shearing interferometry for microscope objective wavefront metrology, SPIE, 2014, 第 2 作者（10） Design of twin computer-generated hologram for absolute testing of aspheric surfaces, SPIE, 2014, 第 3 作者（11） The impact of polarization on grating performance of the lateral shearing interferometer, SPIE, 2014, 第 3 作者（12） Aberration functions expanding in Zernike polynomial for lithographic lens, SPIE , 2014, 第 3 作者（13） Source optimization using simulated annealing algorithm, SPIE , 2014, 第 2 作者（14） Dynamic compensation for the lithographic object lens, SPIE, 2014, 第 2 作者

学术兼职

所学术委员会委员，所学位委员会委员，国家重大科技专项专家组专家