尚海平 - 中国科学院微电子研究所 -

个人简介

教育背景 2005/7-2011/6，中国科学院微电子研究所，微电子与固体电子学，硕博连读/工学博士 1998/7-2002/6，东南大学，应用物理系，学士工作简历 2014/12–至今：中国科学院微电子研究所，智能感知研发中心，副研究员； 2011/07–2014/12：中国科学院微电子研究所，集成电路先导工艺研发中心，助理研究员； 2002/07-2004/05：无锡华润上华半导体有限公司，工艺工程师

研究领域

MEMS传感器和微纳工艺技术

近期论文

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1.Designoptimizationandperformanceanalysisofdeformedopticalreadoutfocalplanearray，JianyuFu，HaipingShang*，HaitaoShi,ZhigangLi,OuYi,DapengChenandQingchuanZhangJ.Micromech.Microeng.，25(2015)065012(9pp)，2015 2.Improvingstressstabilityinlow-pressurechemicalvapordepositedsilicondioxidefilmsbyionimplantation，JianyuFu，HaipingShang*，Changqingxie，ZhigangLi，DapengChen，ThinSolidFilms，598(2016)103–108，2016 3.Opticalsensitivitynon-uniformityanalysisandoptimizationofatiltopticalreadoutfocalplanearray，JianyuFu,HaipingShang,HaitaoShi,ZhigangLi,YiOu,DapengChenandQingchuanZhang"，J.Micromech.Microeng，26(2016)025001(10pp)，2016 4.Thermalannealingeffectsonthestressstabilityinsilicondioxidefilmsgrownbyplasma-enhancedchemicalvapordeposition，JianyuFu*,HaipingShang,ZhigangLi，WeibingWang，DapengChen，MicrosystTechnol，(2017)23:2753–2757，2017 5.新型金属源/漏工程新进展，尚海平，徐秋霞，微电子学，第38卷，第4期，2008年2008 6.镍硅化物工艺新进展，尚海平，徐秋霞，微电子学，第39卷，第6期，2009年，2009 7.Two-stepNiSilicideprocessandinfluenceofprotectiveN2gas，ShangHaiping,XuQiuxia*，JournalofSemiconductors,Volume30,Issue9,2009,096002-1，2009 8.AdjustmentofNiSi/n-SiSBHbypost-silicideofdopantsegregationprocess,JournalofSemiconductors，ShangHaiping,XuQiuxia*，JournalofSemiconductors,Volume30,Issue10,2009,106001-4，2009 9.SBHadjustmentcharacteristicofthedopantsegregationprocessforNiSi/n-SiSJDs，ShangHaiping,XuQiuxia*，JournalofSemiconductors,Volume31,Issue5，2010，056001-6，2010 10.Eliminationofinitialstress-inducedcurvatureinamicromachinedbi-materialcomposite-layeredcantilever，RuiwenLiu、BinbinJiao、YanmeiKong、ZhigangLi、HaipingShang、DikeLu、ChaoqunGaoandDapengChen，J.Micromech.Microeng.23(2013)095019(12pp)，2013 11.Lowatomicnumbersiliconnitridefilmsfortransmissionelectronmicroscopy，JianyuFu,*,WenjuanXiong,*,HaipingShang,RuiwenLiu,JunfengLi,WeibingWang,WenwuWangandDapengChen，MaterialsScienceinSemiconductorProcessing，89(2019)1–5，2019 12.Asubstrate-freeopticalreadoutfocalplanearraywithaheatsinkstructure，LiuRmwen、KongYanmei、JiaoBinbin、LiZhigang、ShangHaiping、LuDike、GaoChaoqun、ChenDapengandZhangQingchuan，JournalofSemiconductors,Volume34,Number2，2013 13.FeasibilityStudyofAll-SiCPressureSensorFabricationwithoutDeepEtching，FengwenMu、YechaoSun、HaipingShang、YinghuiWang、TadatomoSuga、eibingWangandDapengChen，ICEP-IAAC2018，2018 14.Mercury-platediridium-basedmicroelectrodearraysfortracemetaldetection，ZhiCao,HaipingShang*,YinghuiWang,andWeibingWang，ICEPT2018，2018 15.Mercury-platediridium-basedmicroelectrodearraysfortracemetaldetection，ZhiCao,HaipingShang*,YinghuiWang,andWeibingWang，IEEETransactionsonMagnetics，2018 16.Gel-Integratedmercury-platedmicroelectrodearraysfortracemetaldetection，ZhiCao,HaipingShang*,YinghuiWang,andWeibingWang，ICEP2019，2019