刘涛 - 中国科学院大学

个人简介

招生专业 080903-微电子学与固体电子学 080402-测试计量技术及仪器 080300-光学工程招生方向集成电路光学量测、集成光学微纳传感器教育背景 2003-09--2009-01 佛罗里达国际大学博士 1998-09--2003-07 中国科学技术大学学士工作简历 2015-06~2018-05,深圳中科飞测科技有限公司, 总监 2013-11~现在, 中国科学院微电子研究所, 副研究员 2010-03~2013-10,中国科学院微电子研究所, 助理研究员奖励信息（1）国际发明银奖, 二等奖, 部委级, 2005 专利成果（ 1 ） Guoguang Li, Tao Liu, Edgar Genio, Tiezhong Ma, Yan Xiaolang，Broadband polarization spectrometer with inclined incidence and optical measurement system, 发明, 2014, 第 2 作者, 专利号: US8767209B2 （ 2 ） Guoguang Li，Tao Liu，Edgar Genio，Tiezhong Ma，Xiaolang Yan，Broadband polarization spectrometer with normal incidence and optical measuring system, 发明, 2011, 第 2 作者, 专利号: US 9176048B （ 3 ）一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角的方法, 发明, 2013, 第 2 作者, 专利号: CN201310039434.8 （ 4 ）包含相位元件的垂直入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN103048047B （ 5 ）包含相位元件的斜入射宽带偏振光谱仪和光学测量系统, 发明, 2014, 第 1 作者, 专利号: CN102338662B （ 6 ）宽带偏振光谱仪和光学测量系统, 发明, 2015, 第 1 作者, 专利号: CN103185638B （ 7 ）利用反射光谱测量单晶硅基太阳能表面增透膜的方法, 发明, 2016, 第 1 作者, 专利号: CN103575703B （ 8 ）利用平面反射镜合光的成像系统及光学测量装置, 发明, 2013, 第 1 作者, 专利号: CN102455511B （ 9 ）一种石英晶体谐振器的加工方法及装置, 发明, 2020, 第 2 作者, 专利号: 202010224337.6 （ 10 ）反射式近场光学偏振光谱仪, 发明, 2020, 第 1 作者, 专利号: 202010464915.3 （ 11 ）保偏反射式近红外傅里叶变换偏振光谱仪, 发明, 2020, 第 2 作者, 专利号: 202010464914.9 （ 12 ）近红外傅里叶变换偏振光谱仪, 发明, 2020, 第 5 作者, 专利号: 202010540000.6 （ 13 ）一种椭圆偏振仪的校准方法, 发明, 2015, 第 2 作者, 专利号: CN102879337B （ 14 ）利用平行光测量衬底反射率和透射率的光学量测系统, 发明, 2016, 第 2 作者, 专利号: CN103512864B （ 15 ）光学测量系统及方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN109425619A （ 16 ）光学测量系统及方法, 发明, 2017, 第 1 作者, 专利号: CN109425618A （ 17 ）一种MEMS谐振式电场传感器灵敏度漂移补偿方法, 发明, 2021, 第 3 作者, 专利号: 202110390536.9 发表著作（1）集成电路产业全书, 电子工业出版社, 2018-09, 第 5 作者（2）中国集成电路检测和测试产业技术创新路线图, 电子工业出版社, 2019-03, 第 5 作者科研项目（ 1 ）高品质SPM传感器研制, 主持, 国家级, 2020-01--2024-12 （ 2 ）基于光学弹性散射的近红外扫描探针显微光谱仪, 主持, 部委级, 2019-01--2021-12 （ 3 ）石英高品质SPM传感器研制, 主持, 部委级, 2020-05--2023-05 （ 4 ）微纳标记技术研究（实陪）, 主持, 省级, 2019-09--2020-08 （ 5 ）扫描探针显微关键技术研发, 主持, 部委级, 2020-07--2023-06 参与会议（1）先进封装中的光学检测技术及趋势中国集成电路封测年会 2017-06-23

研究领域

长期从事微电子和纳米技术领域的先进量测技术与仪器方向研究。主要围绕基于偏振光谱学、纳米光子学与光声等交叉学科，结合精密仪器技术，研制光学线宽膜厚、晶圆缺陷等面向微电子制程和微纳结构的尺度与物性量测技术与仪器。

近期论文

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（1） Qplus传感器工艺误差影响的仿真分析, 传感器与微系统, 2021, 通讯作者（2）基于COMSOL的纳米傅立叶红外光谱系统数值模型研究, 光谱学与光谱分析, 2020, 通讯作者（3） Fourier transform infrared nano-spectroscopy: Mechanism and applications，Applied Spectroscopy Reviews, Applied Spectroscopy Reviews, 2020, 通讯作者（4）利用多个标准样品校准光谱椭圆偏振仪, 光学学报, 2014, 通讯作者（5）基于反射测定法的SOI膜厚检测系统, 微电子学杂志, 2013, 第 3 作者（6）一种测量双片波片补偿器中光轴偏差角度的方法, 激光与光电子学进展, 2013, 通讯作者（7）样品校准法在单波长椭偏仪中的应用, 光学学报, 2013, 第 2 作者

学术兼职

2015-06-01-2018-05-31,深圳中科飞测科技有限公司, 总监