刘俊标 - 中国科学院大学

个人简介

招生方向电子束技术及应用，精密机械微纳加工与检测教育背景 1998-09--2012-01 南京航空航天大学博士 1995-09--1998-07 福州大学硕士 1991-09--1995-07 福州大学学士工作经历 2018-01~, 中国科学院电工研究所, 研究员 2004-04~2017.12, 中国科学院电工研究所, 副研究员 2002-04~2004-04,中国科学院电工研究所, 博士后工作简历 2018-01~现在, 中国科学院电工研究所, 研究员 2004-04~2017-12,中国科学院电工研究所, 副研究员 2002-04~2004-04,中国科学院电工研究所, 博士后发表著作（1）微纳加工中的精密工件台技术, Technology of precision stage for micro-nano fabrication, 北京工业大学出版社, 2004-12, 第 1 作者科研活动（ 1 ） X射线微焦源研发, 技术负责, 国家级, 2012-01--2014-12；已结题（ 2 ）基于SEM的彩色Nano-CT系统研制, 负责, 部委级, 2015-01--2016-12；已结题（ 3 ）高功率密度微焦点射线源, 主持, 国家级, 2017-07--2021-06 （ 4 ）固体绝缘材料表面介电参数综合测试系统, 参与, 部委级, 2018-01--2019-12 （ 5 ）微纳加工技术及装备研究团队, 主持, 部委级, 2017-05--2019-05 （ 6 ）电子束/X射线共性关键技术研发团队, 参与, 部委级, 2017-05--2019-05 科研项目（ 1 ） X射线微焦源研发, 参与, 国家级, 2012-01--2014-12 （ 2 ）基于SEM的彩色Nano-CT系统研制, 主持, 部委级, 2015-01--2016-12 （ 3 ）高功率密度微焦点射线源, 主持, 国家级, 2017-07--2021-06 （ 4 ）固体绝缘材料表面介电参数综合测试系统, 参与, 部委级, 2018-01--2019-12 （ 5 ）微纳加工技术及装备研究团队, 主持, 部委级, 2017-05--2019-05 （ 6 ）电子束/X射线共性关键技术研发团队, 参与, 部委级, 2017-05--2019-05

研究领域

从事电子束技术和精密机械方面的研究

近期论文

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（1） Practical design of the electron gun for a microfocus x-ray source, Journal of Vacuum Science & Technology B, Nanotechnology and Microelectronics: Materials, Processing, Measurement, and Phenomena, 2017, 通讯作者（2）机械式点阵触觉显示系统, Tactile Display System of Mechanical Dot Matrix, 中国机械工程, 2015, 通讯作者（3） Preparation and characterization of PZT piezoelectric thick film generation materials, Ｔｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ　ｏｆ　Ｎａｎｊｉｎｇ　Ｕｎｉｖｅｒｓｉｔｙ　ｏｆ　Ａｅｒｏｎａｕｔｉｃｓ　ａｎｄ　Ａｓｔｒｏｎａｕｔｉｃｓ, 2015, 通讯作者（4）基于磁控溅射法显微CTW-Al 透射靶材的制备及其性能研究, RESEARCH ON THE PREPARATION AND PERFORMANCE OF TUNGSTEN-ALUMINUMTRANSMISSION TARGET FOR MICRO-COMPUTED, 金属学报, 2015, 通讯作者（5）压电直线电机驱动的精密工件台研制及应用, Ｐｒｅｃｉｓｉｏｎ　Ｓｔａｇｅ　Ｄｒｉｖｅｎ　ｂｙ　Ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ　Ｌｉｎｅａｒ　Ｍｏｔｏｒ　ａｎｄ　Ｉｔｓ　Ａｐｐｌｉｃａｔｉｏｎ, 振动、测试与诊断, 2013, 第 1 作者（6）压电双晶片式惯性冲击电机的驱动研究, 微特电机, 2010, 第 2 作者（7）惯性冲击马达的振动控制, 压电与声光, 2010, 第 2 作者（8）压电式发电的悬臂梁结构参数分析, 压电与声光, 2010, 第 2 作者（9）基于SEM纳米级电子束曝光机的快速束闸设计, 电子工业专用设备 , 2008, 第 1 作者（10） Fatigue Evaluation of Piezo Impact Drive Mechanism, 2007 IEEE International Symposium on Micro-Nano Mechatronics and Human Science, 2007, 第 2 作者（11） Motion Characteristics of A Rotary Piezo Impact Drive Mechanism, 2007 International Conference on Smart Materials and Nanotechnology in Engineering, 2007, 第 2 作者（12）单定子三自由度超声电机位置控制的研究, 机械科学与技术, 2004, 第 1 作者（13）圆柱—球体三自由度超声电机运动机理的研究, 机械科学与技术, 2002, 第 1 作者