个人简介
工作简历
2018-08~现在, 中国科学院上海光机所, 研究员
2011-09~2018-08,中国科学院上海光机所, 副研究员
2011-04~2011-08,中国科学院上海光机所, 助理研究员
2008-11~2011-04,德国弗劳恩霍夫集成系统和元器件研究所, 博士后研究员
2008-05~2008-06,德国Erlangen大学, 访问学者
2001-09~2005-03,陕西理工学院物理系, 讲师
教授课程
高功率激光光学元件导论
奖励信息
（1） 大尺寸高性能激光偏振薄膜元件成套制备工艺技术及应用, 二等奖, 国家级, 2018
（2） 米级、高消光比、高损伤阈值偏振薄膜元件成套制备工艺技术与应用开发, 一等奖, 省级, 2017
（3） 强激光光学元件表面缺陷精密检测技术及应用, 一等奖, 省级, 2017
专利成果
（ 1 ） 用于测量干涉仪传递函数的台阶版的制作方法, 发明, 2018, 第 1 作者, 专利号: ZL201510694888.8
（ 2 ） 大口径高平行度光学元件波前检测装置, 发明, 2018, 第 1 作者, 专利号: ZL 201610024221.1
（ 3 ） 一种大口径光栅衍射效率的测量装置和测量方法, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: ZL 201610427140.6
（ 4 ） 基于单次曝光模式的光栅衍射效率光谱的测量装置和方法, 发明, 2018, 第 1 作者, 专利号: ZL 201610242396.X
（ 5 ） 原位时间分辨光栅衍射效率光谱测量装置和方法, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: ZL 201710271676.8
（ 6 ） 大口径光学元件干涉机械化自动化检测辅助设备, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: ZL 201610912549.7
（ 7 ） 条纹对比度可调的动态点衍射干涉仪, 发明, 2018, 第 2 作者, 专利号: CN 201510710516.X
（ 8 ） 大口径掠入射反射聚焦镜高精度面形检测方法, 发明, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201710000709.5
（ 9 ） 平面光学元件绝对面形检测装置, 发明, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201710380378.2
（ 10 ） 电光晶体通光面法线与Z轴偏离角的测量装置及其测量方法, 发明, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201710097530.6
（ 11 ） 一种大口径材料表面散射的高速测量装置和方法, 发明, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201610902337.0
（ 12 ） 分光光度计, 实用新型, 2020, 第 1 作者, 专利号: 201611020005.6
（ 13 ） 靶丸球形度检测分选机构和检测分选方法, 发明, 2020, 第 1 作者, 专利号: 201810746373.1
（ 14 ） 大口径超光滑表面缺陷的检测装置和检测方法, 发明, 2019, 第 2 作者, 专利号: 01610902339.X
（ 15 ） 用于绝对检测的大口径光学平面镜的旋转装置, 发明, 2020, 第 1 作者, 专利号: 201810964829.1
（ 16 ） 电光晶体通光面法线与晶体光轴的夹角测量装置和方法, 发明, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201710917302.9
（ 17 ） 高速激光线扫描的表面缺陷检测装置, 发明, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201610943020.1
（ 18 ） 非接触式电光晶体通光面法线与Z轴偏离角测量装置及其测量方法, 发明, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201710097596.5
（ 19 ） 双通道双波长干涉检测装置, 发明, 2019, 第 1 作者, 专利号: 201610551583.6
（ 20 ） 半球形光学元件透射率及其均匀性的测量装置和方法, 发明, 2019, 第 2 作者, 专利号: 201710558206.X
科研项目
（ 1 ） 倾斜/旋转紫外光刻技术及其在MEMS中的应用, 主持, 国家级, 2012-01--2014-12
（ 2 ） 宽带高阈值压缩光栅的研制, 参与, 国家级, 2012-06--2013-06
（ 3 ） 大口径衍射光栅研制, 参与, 国家级, 2012-06--2013-06
（ 4 ） 高负载能力表面织构减反射石英元件, 参与, 国家级, 2012-06--2013-06
（ 5 ） 介质膜近场滤波技术研究, 参与, 国家级, 2012-06--2013-06
（ 6 ） 大口径光学检测技术研究与设备样机验证, 主持, 国家级, 2013-04--2014-03
（ 7 ） 大口径光学检测技术研究与设备样机验证, 主持, 国家级, 2013-01--2015-12
（ 8 ） 大口径光学检测技术研究与设备样机验证, 主持, 国家级, 2016-01--2018-12
（ 9 ） 24吋激光平面干涉仪超高精度面形检测技术功能开发, 主持, 部委级, 2018-09--2019-09
（ 10 ） 高解析度高效自动XXX检测设备, 主持, 国家级, 2019-06--2021-06
（ 11 ） 多波长高精度激光平面干涉仪, 主持, 部委级, 2020-01--2021-12
近期论文
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（1） Quantitative Evaluation of Subsurface Damage by Improved Total Internal Reflection Microscopy, Applied Sciences, 2020, 通讯作者
（2） Error analysis of the new measurement technique for obtaining the spectral diffraction efficiencies of a grating, Spectroscopy and Spectral Analysis, 2020, 通讯作者
（3） In situ absolute surface metrology for a 600 mm aperture interferometer, Optics and Lasers in Engineering, 2020, 通讯作者
（4） A simple high-precision wide-spectrum interferometric system, Review of Scientific instruments, 2019, 通讯作者
（5） Preliminary demonstration of flexible dual-energy X-ray phase-contrast imaging, Optical Engineering, 2019, 通讯作者
（6） High-precision determination of the cut angle of an electro-optic crystal by conoscopic interference, Applied Optics, 2018, 通讯作者
（7） 大口径激光钕玻璃均匀性拼接检测技术研究, 光学学报, 2018, 通讯作者
（8） Apparatus for measuring the uniformity of the optical transmittance of a semispherical surface at normal incidence, Applied Optics, 2018, 通讯作者
（9） Motionless and fast measurement technique for obtaining the spectral diffraction efficiencies of a grating, Review of Scientific instruments, 2018, 通讯作者
（10） Fast and high-accuracy measuring technique for transmittance spectrum in VIS-NIR, Spectroscopy and Spectral Analysis, 2018, 通讯作者
（11） High-precision determination of the cut angle of an electro-optic crystal by conoscopic interference, Applied Optics, 2018, 通讯作者
（12） Absolute surface form measurement of flat optics based on oblique incidence method, Chinese Optics Letters, 2018, 通讯作者
（13） 光学平面绝对测量方法仿真和实验研究, 激光与光电子学进展, 2017, 通讯作者
（14） SLM像素尺寸对非球面检测误差影响分析, 中国激光, 2016, 通讯作者
（15） 惯性约束聚变系统中米量级光学元件波面误差检测技术研究进展, 激光与光电子学进展, 2016, 通讯作者
（16） 厚层接近式光刻中掩模优化研究, 强激光与粒子束, 2015, 通讯作者
（17） Investigation on measurement of mid-frequency wavefront error for large optics in high-power laser system, SPIE, 2015, 第 1 作者
（18） Investigation on optical surface defect extraction algorithm based on background correction and image segmentation method, SPIE, 2015, 通讯作者
（19） 全内反射显微技术探测亚表面缺陷新方法研究, 光学学报, 2014, 通讯作者
（20） Study on measurement of medium and low spatial wavefront errors of long focal length lens, Chinese Optics Letters, 2014, 通讯作者
（21） High-spectral-resolution characterization of broadband high-efficiency reflection gratings, Applied Optics, 2013, 通讯作者
科研活动
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