当前位置: X-MOL首页全球导师 国内导师 › 唐锋

个人简介

教育背景 2001-09--2006-01 天津大学 博士学位 1997-09--2001-06 天津大学 学士学位 工作简历 2016-08~现在, 中科院上海光学精密机械研究所, 研究员 2008-06~现在, 中科院上海光机所, 副研究员 2006-03~2008-05,中科院上海光机所, 博士后

研究领域

干涉测量技术及仪器、高端光刻机像质检测技术

近期论文

查看导师最新文章 (温馨提示:请注意重名现象,建议点开原文通过作者单位确认)

双孔点衍射干涉成像系统波像差检测技术研究, 中国激光, 2021, 第 2 作者 Dual-fiber point diffraction interferometer to measure the wavefront aberration of an imaging system, APPLIED OPTICS, 2020, 第 2 作者 Imprinting gradient refractive index micro-structure in GeS2-Ga2S3-KCl glass for broadband diffraction grating, OPTICAL MATERIALS, 2020, 第 7 作者 Relationship between shear ratio and reconstruction accuracy in lateral shearing interferometry, OPTICAL ENGINEERING, 2020, 第 2 作者 Comparison of Processing Speed of Typical Wavefront Reconstruction Methods for Lateral Shearing Interferometry, Applied Optics, 2020, 第 2 作者 Calibration Method of Shear Amount Based on the Optical Layout of Point Source Microscope for Lateral Shearing Interferometric Wavefront Sensor, Optical Engineering, 2020, 第 2 作者 Method for designing Phase Retrieval Algorithms for Ronchi Phase-Shifting Lateral Shearing Interferometry, Applied Optics, 2019, 第 3 作者 Measuring Cone Angle of Axicon Using Scanning Fizeau Interferometer, Optical Engineering, 2019, 第 2 作者 环形子孔径扫描锥形镜面形检测方法研究, 中国激光, 2019, 第 2 作者 成像系统倍率高精度测量技术研究, 光学学报, 2018, 第 2 作者 Compact lateral shearing interferometer based on circular modified Hartmann mask, Proc. SPIE, 2018, 第 2 作者 平面子孔径拼接干涉测量精度分析, 中国激光, 2018, 第 2 作者 A method for improving measurement efficiency of lateral shearing interferometry, Opt. Eng, 2017, 第 2 作者 子孔径拼接干涉的快速调整及测量, 光学精密工程, 2017, 第 2 作者 基于Ptychography的极紫外光刻投影物镜波像差检测技术, 光学学报, 2016, 第 2 作者 高精度平面子孔径拼接算法研究, 中国激光, 2016, 第 2 作者 Piston error calibration of zonal reconstruction for a segmented wavefront in lateral shearing interferometry, Appl. Opt., 2015, 第 2 作者 Wavefront reconstruction for lateral shearing interferometry based on difference polynomial fitting, Journal of Optics, 2015, 第 2 作者 Analysis of lateral shearing interferometry without self-imaging limitations, Applied Optics, 2015, 第 2 作者 Ronchi相移剪切干涉仪及其相位提取误差分析, 光学学报, 2015, 第 2 作者

推荐链接
down
wechat
bug