张明亮 - 中国科学院半导体研究所 -

个人简介

张明亮，男，博士，副研究员，硕士生导师。 2000年及2003年于安徽大学化学化工学院获学士及硕士学位，2007年于香港城市大学生物及化学系获博士学位，2007-2009年，在香港城市大学和加州大学圣迭戈分校从事博士后研究。2010年加入中国科学院半导体研究所半导体集成技术工程研究中心。在硅基微纳结构、器件研究及应用方面做了大量探索性工作，已发表论文40多篇，申请专利10多项，其中单篇文章已被引用389次。

研究领域

1）MEMS压力传感器； 2）微纳加工技术开发及MEMS制作； 3）微纳能源器件。

近期论文

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1.Z.Ma,Y.Liu,L.Deng;M.L.Zhang,S.Zhang;J.Ma,P.Song,Q.Liu,A.Ji,F.H.Yang,X.D.Wang,Nanomaterials,2018,8,1. 2.Y.Liu,M.L.Zhang,A.Ji,F.H.Yang,X.D.Wang,RscAdvances，2016,6,48933. 3.Y.Y.Qi,Z.Wang,M.L.Zhang,X.D.Wang,A.Ji,F.H.Yang,2014,4,031307. 4.X.Fan,M.L.Zhang,X.D.Wang,F.H.Yang,X.M.Meng,J.Mater.Chem.C，2013,1,8694. 5.Y.Y.Qi,Z.Wang,M.L.Zhang,F.H.Yang,X.D.Wang,J.Mater.Chem.A,2013,1,6100 6.M.L.Zhang,X.Fan,H.W.Zhou,M.W.Shao,J.A.Zapien,N.B.Wong,S.T.Lee,JPhys.Chem.C.,2010,114,1969. 7.M.L.Zhang,K.Q.Peng,X.Fan,J.S.Jie,R.Q.Zhang,S.T.Lee,N.B.Wong,J.Phys.Chem.C,2008,112,4444. 8.M.L.Zhang,X.Fan,J.S.Jie,J.P.Hsu,N.B.Wong,J.Phys.Chem.C,2008,112,15943. 9.M.L.Zhang,C.Q.Yi,X.Fan,K.Q.Peng,R.Q.Zhang,M.S.Yang,S.T.Lee,N.B.Wong,Appl.Phys.Lett.,2008,92,043116. 10.Y.F.Liu,J.Xie,M.L.Zhang,J.L.Yang,F.H.Yang,J.Microelectromech.Syst.,2011,20,470. 11.张明亮，季安，王晓东，杨富华，基于浓硼掺杂硅的可动微纳结构的制备方法，2017.12.22，中国，CN201711414427.6 12.张明亮，季安，王晓东，杨富华，浓硼掺杂硅纳米线压阻式MEMS压力传感器的制备方法，2017.12.22，中国，CN201711414428.0 13.张明亮，季安，王晓东，杨富华，基于二维电子气的MEMS高温压力传感器及其制备方法，2017.11.10，中国，CN201711103665.5 14.张明亮，季安，王晓东，杨富华，一种基于硅玻璃阳极键合的圆片级高真空无引线封装方法，2017.12.29，中国，CN201711498022.5 15.张明亮，季安，王晓东，杨富华，基于离子注入石墨烯谐振式MEMS压力传感器制备方法，2017.12.29，中国，CN201711498024.4 16.张明亮，季安，王晓东，杨富华，一种硅硅玻璃硅四层结构谐振式MEMS压力传感器制备方法，2018.1.30，中国，CN201810093230.5