杨晋玲 - 中国科学院半导体研究所 -

个人简介

杨晋玲，女，博士，研究员，博士生导师。 1968年11月生。1997年在中国科学院物理研究所获博士学位。1997年-2004年，先后在日本东北大学的VentureBusinessLaboratory、德国弗莱堡大学的InstituteforMicrosystemTechnology、瑞士巴塞尔大学的InstituteofPhysics和IBMZurichResearchLaboratory工作。2004年加入中科院半导体研究所。自1998年以来，一直从事微纳电子机械系统（MEMS/NEMS）器件研究，在国际核心刊物上发表论文70余篇，SCI收录50余篇。SCI总引700余次。为两本丛书撰写了两章节。应邀为纳米技术百科全书《EncyclopediaofNanotechnology》撰写了题为“SurfacedissipationinNEMS/MEMS”的文章。获得专利合作条约(PCT)国际专利1项，欧洲专利3项，申请中国发明专利36项，其中14项授权。传感技术联合国家重点实验室中国科学院半导体研究所专业点负责人。中国抗癌协会纳米肿瘤学专业委员会常务委员，中国微米纳米技术学会高级会员，现为国际核心期刊IEEEJ.Microelectromech.Syst./BiosensorsandBioelectronics/Nanotechnology/J.Micromech.Microeng./Sensors/Appl.Phys.A以及国内外微纳米技术期刊的审稿人。负责承担了863计划、973计划、国家自然科学基金重点项目和国家重大科学仪器设备开发专项项目以及中国科学院项目，开展了高性能微纳谐振器件、微纳器件测试平台建设和可靠性研究，取得了一系列有意义的研究成果： 1.首次澄清了微纳悬臂梁的机械能量损耗机理，建立了能量损耗模型，成果多次被MEMS领域著名学者的系列文章和综述文章引用。 2.大规模制作了高性能超小悬臂梁，使AFM的力分辨率、扫描速度分别提高了5倍、10倍。Nature新闻专题和NatureMethods研究亮点栏目详细介绍了我们的最新结果。 3.针对癌症早诊要求，研制了新型高性能生化传感器及系统，正在推进器件的临床应用。 4.构建了高性能MEMS振荡器，性能达到国际最好水平，正在将这些成果推向产业化。 5.率先研制了宽频谱的微纳谐振器件表征系统，发展了新型微纳尺度薄膜和器件可靠性表征技术和方法：a）发展了两种新的实验测试技术，建立了理论模型。b）组建了国内首台吹曲测试装置。c）建立了国内首台微纳器件可靠性测试平台。为新型高性能微纳谐振器件研究提供了技术保障。

研究领域

一直从事微纳电子机械系统（MEMS/NEMS）器件研究

近期论文

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1.J.J.Wang,Y.F.Zhu,X.Wang,S.P.Wang,J.L.Yang,andF.H.Yang AHighThroughputCantileverArraySensorforMultipleLiverCancerBiomarkersDetection IEEESensorsJ.16（2016）15. 2.J.C.Zhao,Q.Yuan,W.Luo,X.Kan,J.Y.Zhang,J.L.Yang,andF.H.Yang Avacuumencapsulationtechniquewithnovelparasiticoptimizationmethodsforvhfmemsresonators， IEEEMEMS2016,Shanghai,Jan.24–28,2016,pp.573-576. 3.X.D.Lv,W.W.Wei,J.Y.Zhang,J.L.Yang,andF.H.Yang, AlinearlowdrivingvoltageMEMSactuatorwithlargelateralstrokedrivenbyLorentzforce, Tech.Digest,Transducers2015,June21-25,2015,Alaska,USA,pp.2117-2120. 4.B.H.Peng,Q.Yuan,J.C.Zhao,H.Zhao,W.Luo,J.L.Yang,andF.H.Yang, FrequencystabilityofRFMEMSoscillatorwithencapsulatedresonator, Tech.Digest,Transducers2015,June21-25,2015,Alaska,USA,pp.1969-1972. 5.X.D.Lv,W.W.Wei,X.Mao,J.L.Yang,andF.H.Yang, AnovelMEMSactuatorwithlargelateralstrokedrivenbyLorentzforce, J.Micromech.Microeng.,25(2015)025009. 6.S.P.Wang,J.J.Wang,Y.F.Zhu,J.L.Yang,andF.H.Yang， Anewdeviceforlivercancerbiomarkerdetectionwithhighaccuracy， SensingandBio-SensingResearch4,40(2015). 7.Q.Yuan,W.Luo,H.Zhao,B.H.Peng,J.L.Yang,andF.Ｈ.Yang, FrequencyStabilityofRF-MEMSDiskResonators, IEEETrans.ElectronDev.,62,(2015)1603. 8.X.D.Lv,W.W.Wei,X.Mao,J.L.Yang,andF.H.Yang, AnovelMEMSelectromagneticactuatorwithlargedisplacement Sensors&Actuators:A221(2015):22–28. 9.W.W.Wei,Y.F.Zhu,J.L.Yang,andF.H.Yang, DamageofCrfilmbyoxygenplasma, AppliedSurfaceScience,301(2014),pp.539–543. 10.Z.Q.Fang1,X.Mao,J.L.Yang,andF.H.Yang, AWafer-LevelSn-RichAu-SnIntermediateBondingTechniquewithHighStrength, J.Micromech.Microeng.23.095008(2013). 11.H.Zhao,W.Luo,J.L.Yang,andF.H.Yang, ANovelAnalyticalMethodforDesigningMicroelectromechanicalFilters, KeyEngineeringMaterials562-565.1281-1284,(2013). 12.C.Leung,A.Bestembayeva,R.Thorogate,J.Stinson,A.Pyne,C.Marcovich,J.L.Yang,U.Drechsler,M.Despont,T.Jankowski,M.Tschöpe,andB.W.Hoogenboom, Atomicforcemicroscopywithnano-scalecantileversresolvesdifferentstructuralconformationsoftheDNAdoublehelix NanoLett.12,3846(2012). 13.X.Mao,J.L.Yang,A.Ji,andF.H.Yang, TwonewmethodstoimprovethelithographyprecisionforSU-8photoresistonglasssubstrate IEEEJ.Microelectromech.Syst.22.124(2013). 14.Y.F.Liu，J.Xie，H.Zhao,W.Luo，J.L.Yang，A.Ji,andF.H.Yang, AneffectiveapproachforrestrainingelectrochemicalcorrosionofpolycrystallinesiliconcausedbyanHF-basedsolutionanditsapplicationformassproductionofMEMSdevices, J.Micromech.Microeng.22,035003(2012). 15.Y.F.Liu，J.Xie，M.L.Zhang，J.L.Yang，andF.H.Yang, Aneffectiveapproachforrestraininggalvaniccorrosionofpolycrystallinesiliconbyhydrofluoric-acid-basedsolutions, IEEEJ.Microelectromech.Syst.20(2):460–465(2011). 16.Y.F.Zhu,F.X.Zhang,J.L.Yang,H.Y.Zheng,andF.H.Yang， Stabilityofmechanicalpropertiesforsubmicrometersingle-crystalsiliconcantileverundercyclicload, IEEEJ.Microelectromech.Syst.20(1):178–183(2011). 17.Y.Han,W.Y.Li,L.X.Cao,X.Y.Wang,B.Xu,B.R.Zhao,Y.Q.Guo,andJ.L.Yang， Superconductivityinirontelluridethinfilmsundertensilestress， Phys.Rev.lett.104(1):017003-1–017003-4(2010). 18.R.R.Gruter,Z.Khan,R.Paxman,J.Ndieyira,B.Dueck,B.A.Bircher,J.L.Yang,U.Drechsler,M.despont,R.Mckendry,andB.W.Hoogenboom， Disentanglingmechanicalandmasseffectsonnanomechanicalresonators， Appl.Phys.Lett.96(2):023113-1–023113-3(2010). 19.W.Zhou,J.L.Yang,G.S.Sun,X.F.Liu,A.Ji,F.H.Yang,Y.D.Yu,andJ.M.Li, Fracturepropertiesofsiliconcarbidethinfilmsbybulgetestoflongrectangularmembrane, IEEEJ.Microelectromech.Syst.17(2):453–461(2008). 20.J.L.Yang,J.Gaspar,andO.Paul, FracturepropertiesofLPCVDsiliconnitrideandthermallygrownsiliconoxidethinfilmsfromtheload-deflectionoflongSi3N4andSiO2/Si3N4diaphrams, IEEEJ.Microelectromech.Syst.17(5):1120–1134(2008)