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个人简介

简历:  2008.4-2010.4北京大学微电子学研究院博士后 2010.5-至今中国科学院电子学研究所助理研究员、副研究员 承担科研项目情况: 国家自然科学基金:单片集成旋转谐振式微型三维电场传感器研究第二批中国博士后科学基金特别资助:基于电镀永磁体阵列的微型能量采集器微米纳米加工技术国家重点实验室基金:静电驱动导体薄膜的MEMS可调电感

研究领域

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微机电系统(MEMS)、微型传感器及系统

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