李昕欣 - 中国科学院大学 - 电子电气与通信工程学院

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招生专业 080903-微电子学与固体电子学 085400-电子信息招生方向微纳机电系统与微纳传感器技术奖励信息（1） MEMS产品化技术, 二等奖, 省级, 2006 （2）高g加速度传感器, 一等奖, 省级, 2005 科研项目（ 1 ）基于智能化能量获取的自供能自主报警无线传感节点技术, 主持, 国家级, 2019-01--2023-12 （ 2 ）基于微纳谐振敏感效应的界面分子作用热力学/动力学参数提取与材料特性评估装置, 主持, 国家级, 2016-01--2020-12 （ 3 ）功能纳米结构与理化性质关联跨尺度表征测量及应用验证, 主持, 国家级, 2016-07--2021-07

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（1） Dual resonator MEMS magnetometer based on self clocking sigma delta modulation, IEEE Sensors Journal, 2019, 通讯作者（2） In situ construction of metal-organic framework (MOF) UiO-66 film on Parylene-patterned resonant microcantilever for trace organophosphorus molecules detection, ANALYST, 2019, 通讯作者（3） Design, Fabrication, and Testing of a Monolithically Integrated Tri-Axis High-Shock Accelerometer in Single (111)-Silicon Wafer, MICROMACHINES, 2019, 通讯作者（4） A Front-Side Microfabricated Tiny-Size Thermopile Infrared Detector With High Sensitivity and Fast Response, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2019, 通讯作者（5） A front-side microfabricated tiny-size thermopile infrared detector with high sensitivity and fast response, IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES, 2019, 通讯作者