个人简介
招生专业
080903-微电子学与固体电子学
085400-电子信息
招生方向
MEMS及相关技术
教育背景
1998-09--2001-12 中科院上海微系统与信息技术研究所 博士
1993-09--1997-12 中科院上海微系统与信息技术研究所 硕士
1980-09--1984-07 东南大学（原南京工学院） 学士
工作简历
2002-03~现在, 中科院上海微系统与信息技术研究所, 研究员
1998-09~2001-12,中科院上海微系统与信息技术研究所, 博士
1997-03~1998-03,香港科技大学, 访问学者
1995-11~2002-03,中科院上海微系统与信息技术研究所, 副研究员
1993-09~1997-12,中科院上海微系统与信息技术研究所, 硕士
1990-11~1995-11,中科院上海微系统与信息技术研究所, 助理研究员
1984-08~1990-11,中科院上海微系统与信息技术研究所, 研究实习员
1980-09~1984-07,东南大学（原南京工学院）, 学士
奖励信息
（1） 基于工艺选择性的MEMS三维制造关键技术与设计方法, 二等奖, 国家级, 2012
专利成果
（ 1 ） 微机械磁传感器及其应用, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510051986.X
（ 2 ） 一种电磁式振动传感器及其制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510791836.2
（ 3 ） 基于局域共振体的声子晶体结构及其制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510778969.6
（ 4 ） 微机械硅谐振器的温度补偿结构及制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510780724.7
（ 5 ） 一种硅柱通孔互连结构及其制作方法, 2015, 第 1 作者, 专利号: 201510770462.6
（ 6 ） 扭转式微机械磁场传感器及其制备方法, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611019468.0
（ 7 ） 三轴微机械磁场传感器, 2016, 第 1 作者, 专利号: 201611020374.5
科研项目
（ 1 ） 静电推挽驱动-电磁感应检测谐振式微型磁传感器, 主持, 国家级, 2016-01--2019-12
近期论文
查看导师最新文章
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（1） The Au/Si eutectic bonding compatibility with KOH etching for 3D devices fabrication, J. Micromech. Microeng., 2018, 第 5 作者
（2） Micro-silicon phononic crystal with locally resonant theory, Appl. Phys. Lett., 2017, 第 4 作者
（3） Modelling of resonant MEMS magnetic field sensor with electromagnetic induction sensing, Solid-State Electronics, 2017, 第 4 作者
（4） Effects of rapid thermal annealing on LPCVD siliconnitride, Ceramics International, 2016, 第 3 作者
（5） Simulation of Plastic Deformation of Sculptured Diaphragm Silicon Microstructure, Microelectronic Engineering, 2016, 第 4 作者
（6） Effect of hyperthermal annealing on LPCVD silicon nitride, Materials Science in Semiconductor Processing, 2016, 第 4 作者
（7） Experimental investigation of energy localization in line-defect resonator based on silicon locally resonant phononic crystal, APPLIED PHYSICS LETTERS, 2016, 第 4 作者
（8） Design, fabrication and characterization of a resonant magnetic fieldsensor based on mechanically coupled dual-microresonator, Sensors and Actuators A, 2016, 第 3 作者
（9） Continuous tuning of line defect modes in silicon two-dimensional phononic crystal, J. Phys. D Appl. Phys., 2015, 第 3 作者
（10） Acoustic wave characterization of silicon phononic crystal plate, Applied Physics Letters, 2015, 第 4 作者
（11） Phononic crystal strip based anchors for reducing anchor loss of micromechanical resonators, Journal of Applied Physics, 2014, 第 4 作者
（12） The plastic and creep characteristics of silicon microstructure at elevated temperature, Microsystem Technology, 2014, 第 3 作者
（13） Extending of band gaps in silicon based one-dimensional phononic crystal strips, Applied Physics Letters, 2013, 第 4 作者
（14） Resonant Magnetic Field Sensor With Capacitive Driving and Electromagnetic Induction Sensing, IEEE Electron Device Letters , 2013, 第 3 作者
（15） A Wide Measurement Pressure Range CMOS-MEMS Based Integrated Thermopile Vacuum Gauge With an XeF2 dry etching process, Sensors and Actuators A Physical, 2013, 第 4 作者
（16） Effect of air damping on quality factor of bulk mode microresonators, Microelectronic Engineering, 2013, 第 3 作者
（17） Wafer-Level Vacuum Packaging for Microsystems Using Glass Frit Bonding, IEEE Transactions on Components, Packaging and Manufacturing Technology, 2013, 第 4 作者
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